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![Method of manufacturing a holding plate, in particular for a clamp for holding wafers Patent Grant Hammer , et al. April 27, 2 [Berliner Glas KGaA Herbert Kubatz GmbH & Co.]](https://uspto.report/patent/grant/10987760/US10987760-20210427-D00000.png "Method of manufacturing a holding plate, in particular for a clamp for holding wafers Patent Grant Hammer , et al. April 27, 2 [Berliner Glas KGaA Herbert Kubatz GmbH & Co.]")
Method of manufacturing a holding plate, in particular for a clamp for holding wafers Patent Grant Hammer , et al. April 27, 2 [Berliner Glas KGaA Herbert Kubatz GmbH & Co.]
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